低压（真空）等离子技术
对于低压等离子技术，气体在真空中获得能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其他反应粒子组成。由此，材料表面可以被有效的改变。其等离子效应可以分为以下两类
1.微砂喷射:材料表面通过离子轰击被消减。
2.化学反应:材料表面与离子化的气体发生化学反应。
通过改变工艺参数，如:压力、发生器功率、工艺时间、气体流量和气体组成，可以获得不同的等离子效果。如此便可在一道工序内完成多种工艺效果。
采用13.56MHz射频电源搭配自动网络匹配器；
极小的占地面积；
低运行成本；
可更换电极，适应不同产品生产。
可根据客户需求推荐设备规格
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